|

Главная

Контакты

Словарь

 ► Развитие сварочного производства
 ► Сварные соединения и швы
 ► Сварочная дуга
 ► Металлургические процессы при дуговой сварке
 ► Источники питания дуги
 ► Сварочные материалы
 ► Технология ручной дуговой сварки покрытыми электродами
 ► Деформации и напряжения при сварке
 ► Сварки в защитных газах
 ► Сварки под флюсом
 ► Электрошлаковая сварка
 ► Особенности сварки различных видов
 ► Высокопроизводительные способы сварки
 ► Дуговая сварка углеродистых и легированных сталей
 ► Сварки чугунов
 ► Сварки цветных металлов и их сплавов
 ► Технология сварки тугоплавких и разнородных металлов
 ► Сварки пластмасс
 ► Дуговая наплавка и напыление
 ► Технология производства сварных конструкций
 ► Дуговая резка
 ► Качество сварочных работ. Сварные дефекты. Контроль качества
 ► Основы технического нормирования сварочных работ
 ► Охрана труда при сварке и резке
 ► Сварочное производство
 ► Сварка и пайка в микроэлектронике
 ► Другие методы сварки
 ► Сварка и пайка схем на печатных платах и микромодулей
 ► Сварка и пайка проводников с тонкими пленками в гибридных схемах
 ► Монтаж в корпусе и герметизация полупроводниковых приборов и микросхем
 ► Технологическое оборудование для сварки и пайки микроэлектронных схем









Оборудование для сварки электронным лучом

Многие из разработанных универсальных электроннолучевых установок можно применять для сварки микроэлектронных устройств.

Основные узлы установок:

  1. электроннолучевая пушка;
  2. вакуумная сварочная камера с различными приспособлениями для крепления и перемещения свариваемых деталей;
  3. электронно-оптическая система для фокусировки электронного луча и наведения его, при необходимости, в требуемое место;
  4. система вакуумных насосов для создания и поддержания при сварке вакуума в камере не ниже 10-5мм рт. ст.; высоковольтный источник питания электронной пушки с модулятором для получения импульсного режима сварки;
  5. блоки электропитания исполнительными механизмами установки (манипуляторы, поворотные столы и пр.).

Все выпускаемые установки для электроннолучевой сварки делятся на низковольтные (до 30 кв) и высоковольтные (до 140 кв).
Основной узел электроннолучевых установок—электронная пушка — состоит из катодного узла и электронно-оптической фокусирующей системы. В сварочных установках применяются, в основном, два типа катодов:
стержневой и таблеточный.

Оба типа катодов используют косвенный нагрев катода. В первом случае нагревательная спираль из вольфрамовой проволоки помещается вокруг стержня катода, который изготавливается обычно также из вольфрама. Диаметр стержня выбирается около 1 мм. Во втором случае катод в виде таблетки из гексаборида лантана запрессовывается в стаканчик из тугоплавкого металла (молибден, тантал), в котором помещается вольфрамовая спираль для подогрева таблетки до 1 600—1650° С.

Одним из необходимых условий при электроннолучевой сварке микроэлектронных устройств является возможность высокой локализации нагрева свариваемых деталей и уменьшение общего разогрева изделия. Это может достигаться при сварке импульсным электронным лучом. Для получения импульсного режима необходимо учитывать возможность регулирования частоты, скважности, длительности отдельных импульсов и силы тока в импульсе.

Для предотвращения образования кратера в конце шва модуляторы должны обеспечивать плавное запирание электронной пушки.

Сравнительные технические характеристики отечественных и зарубежных электроннолучевых установок, которые находят применение в микроэлектронике, приведены в табл. 6.14 [103, 104]. Установки моделей ЭЛУРО-1 и А.306.05 и А.306.07 разработаны в СССР специально для сварки и обработки электронным лучом изделии электронной техники. Установка модели IEBW-2BфирмыJapan Electron Optic Lab. Co.(Япония) является одной из наиболее совершенных установок за рубежом.

Просмотров - 2433.

© 2013 svyatik.org - При использовании материала, должна быть ссылка на svyatik.org первоисточник.