|

Главная

Контакты

Словарь

 ► Развитие сварочного производства
 ► Сварные соединения и швы
 ► Сварочная дуга
 ► Металлургические процессы при дуговой сварке
 ► Источники питания дуги
 ► Сварочные материалы
 ► Технология ручной дуговой сварки покрытыми электродами
 ► Деформации и напряжения при сварке
 ► Сварки в защитных газах
 ► Сварки под флюсом
 ► Электрошлаковая сварка
 ► Особенности сварки различных видов
 ► Высокопроизводительные способы сварки
 ► Дуговая сварка углеродистых и легированных сталей
 ► Сварки чугунов
 ► Сварки цветных металлов и их сплавов
 ► Технология сварки тугоплавких и разнородных металлов
 ► Сварки пластмасс
 ► Дуговая наплавка и напыление
 ► Технология производства сварных конструкций
 ► Дуговая резка
 ► Качество сварочных работ. Сварные дефекты. Контроль качества
 ► Основы технического нормирования сварочных работ
 ► Охрана труда при сварке и резке
 ► Сварочное производство
 ► Сварка и пайка в микроэлектронике
 ► Другие методы сварки
 ► Сварка и пайка схем на печатных платах и микромодулей
 ► Сварка и пайка проводников с тонкими пленками в гибридных схемах
 ► Монтаж в корпусе и герметизация полупроводниковых приборов и микросхем
 ► Технологическое оборудование для сварки и пайки микроэлектронных схем









Причины разрушения сварных контактов в интегральных схемах

Весьма существенной причиной разрушения сварных контактов в интегральных схемах является плохая адгезия алюминия к двуокиси кремния. В этом случае разрушение контакта происходит вследствие механических напряжений. Причем обнаружить этот дефект можно простым подергиванием приваренной проволочки даже без проведения механических испытаний. Быстрое разрушение сварных соединений в процессе эксплуатации может также произойти вследствие не провара (из-за низкого удельного давления и низкой температуры при сварке) или, наоборот, вследствие чрезмерно завышенного режима сварки. Этот дефект легко выявляется при механических испытаниях.

При наличии в слое окисла дефектов в виде проколов, примесных включений, пор, дислокаций и малой толщины окисла возможно возникновение замыкания между алюминиевыми контактными площадками и кремнием через слой окисла. Пробой через слой окисла наиболее вероятен под сварным контактом, так как при сварке в слое окисла образуются дополнительные дефекты в виде дислокаций. При этом ухудшение начальных электрических характеристик наблюдается не всегда и отказ может произойти через некоторое время.

Отдельные типы отказов интегральных схем обусловлены неправильным выполнением внутреннего монтажа. Так, если выводы корпусов будут находиться ниже кремниевой пластинки, то возможно замыкание проводников на кремний. При слишком длинных проволочных соединительных выводах они могут замкнуться на крышку или дно корпуса, на край или поверхность полупроводниковой пластины или между собой. Замыкания могут происходить из-за неправильного крепления (пайки) кристалла со схемой в корпусе, в результате чего выводы проходят слишком близко друг от друга. Некачественная проволока с местными надрезами, утонениями и царапинами также приводит к обрыву выводов. Замыкания могут вызвать слишком длинные концы проволок, остающиеся при обрезке проволок после их сварки.

Большинство из рассмотренных дефектов являются результатом плохого соблюдения технологии или недостаточной проработанности отдельных технологических операций. Поэтому устранение отказов или уменьшение их числа требует обязательного внесения контролируемых изменений в технологический процесс изготовления интегральных схем. Кроме того, необходимо наладить непрерывный эффективный контроль в процессе изготовления микроэлектронных схем.

Для обеспечения высокой воспроизводимости качества сварных соединений наиболее целесообразно проводить контрольные испытания в три этапа:

  1. испытания сварочной установки;
  2. испытания качества соединений при подборе параметров режима сварки на данной установке;
  3. периодические производственные испытания.

При испытании новой и вышедшей из ремонта сварочной установки производится контрольная сварка нескольких сочетаний материалов. Обычно сваривается по 45—50 соединений. Все соединения при 10-кратном увеличении проверяют на отсутствие дефектов (трещин, непроваров и пр.). Затем все соединения подвергают механическим испытаниям на растяжение.
При подборе режима на установке для каждого конкретного сочетания проводников испытываются 40 соединений, причем требования к соединению предъявляются такие же, как и при испытаниях новой машины.

Периодическим испытаниям на прочность подвергают пять соединений в следующих случаях: в конце партии соединений, выполненных на данном режиме; перед началом сварки новой партии соединений, требующих нового режима; через каждый час непрерывной работы на установке. Причем, если оператор заметил, что режим работы установки периодически отклоняется от нормального режима соединений, то немедленно проводятся испытания.

Просмотров - 2271.

© 2013 svyatik.org - При использовании материала, должна быть ссылка на svyatik.org первоисточник.